与其他类型的真空泵相比,水环真空泵具有以下优点:1、结构简单,制造精度不高,易于加工。操作简单,维护方便。2、结构紧凑,泵一般直接与电机相连,转速高。用较小的结构尺寸,可以获得较大的位移。3、泵腔内无金属摩擦面,无需润滑泵。旋转部分和固定部分之间密封可以直接通过水封来完成。4、水环真空泵泵腔内压缩气体的温度变化很小,可以认为是等温压缩,因此可以抽出易燃易爆气体。5、因为没有排气阀和摩擦面,所以可以排除含尘气体、可凝气体和气水混合物。应定期检查真空泵轴承的运转和润滑。微型真空泵预订
真空泵的注意事项:(1)严禁抽除易燃、易爆及有毒的气体;(2)不得抽除对金属有腐蚀及能与泵油起化学反应的气体;(3)不得抽除含有颗粒尘埃及大量水蒸气的气体;(4)被抽气体的温度不得超过80℃,使用环境温度为﹣5℃~60℃;(5)不得作压缩泵及输送泵使用;(6)严禁无真空泵油运行;(7)真空泵运行时,严禁堵塞排气帽;(8)拔下电源时,一定要握住插头,切勿抓住电源线拉扯,插座必须接地;(9)请勿将重物置于电源线上,勿让电源线受到挤压;(10)请勿使用破损的插头和插座;(11)请勿用潮湿的手插拔电源插头;(12)在有煤气泄露的地方切勿插拔电源插头及按动开关。微型真空泵预订真空泵在寒冬季节使用时,停车后,需将泵体下部放水螺塞拧开将介质放净,防止冻裂。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2BV系列水环真空泵工作压强范围760mmHg~25mmHg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmHg下长期工作。真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmHg的工作真空度,选用的真空泵的极限真空度至少要2mmHg,较好能达到1mmHg。通常选择泵的极限真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
选择真空泵有哪些原则?(1)真空泵的结构:抽腐蚀性气体,必须要求真空泵用耐腐蚀材料或衬耐腐蚀材料制成。抽与油起作用的气体,不能选择使用润滑油的真空泵。(2)满足工艺要求:如减压塔顶不凝气体的量很大,必须选用蒸汽喷射真空泵,因为它具有真空度高,结构简单,操作方便等特点,在减压塔内造成很高真空,有利于在减压下分馏,保证了产品质量。(3)足够的抽气速率:在允许的时间内,能把需要抽走的气体抽出,才能保证生产的正常进行。(4)工作时间:连续工作时间能保证一个工艺循环的基本要求,不能因为连续工作时间短而影响生产。在真空泵工作的各个阶段都要考虑检漏工作。
干式机械真空泵的应用是普遍的,主要有以下几个方面:1、低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;2、半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;3、除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;4、在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;5、用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。真空泵要求从密封容器中高速高效地排除气体,以达到产生,改善和维持真空的目的。进口油润滑真空泵
名义抽速即真空泵的标牌抽速,泵出厂的标牌抽速。微型真空泵预订
油封式真空泵按照结构型式可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式四种。油封式真空泵工作原理:用油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的机械真空泵统称油封式真空泵。它们的工作原理都是使泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔内工作室容积变得较小时,与泵的入口管道连通,于是气体进入泵吸入腔,一直到吸入腔容积并重新与进气口分开时为止。当容积减少时,气体被压缩,直到气体的压力大于一个大气压,排气阀被打开,将气体排出。微型真空泵预订